ffu凈化單元廠家介紹如何控制潔凈室溫度和濕度
ffu凈化單元可以應(yīng)用到很多行業(yè),ffu凈化單元對(duì)潔凈室的要求是很多的,其中溫度和濕度的控制也很重要,因?yàn)榭刂坪脺囟群蜐穸葘?duì)于空氣的污染防控還是很重要的,下面由ffu凈化單元廠家介紹如何控制潔凈室溫度和濕度。

當(dāng)相對(duì)濕度超過(guò)55%時(shí),冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。此外,濕度太高時(shí)將通過(guò)空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。相對(duì)濕度越高,粘附的難去掉,但當(dāng)相對(duì)濕度低于30%時(shí),又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對(duì)于硅片生產(chǎn)溫度范圍為35—45%。
我國(guó)對(duì)潔凈室中的氣壓有明確規(guī)定:
對(duì)于大部分潔凈空間,為了防止外界污染侵入,需要保持內(nèi)部的壓力(靜壓)高于外部的壓力(靜壓)。壓力差的維持一般應(yīng)符合以下原則:
1.潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。
2.潔凈度級(jí)別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級(jí)別低的空間的壓力。
3.相通潔凈室之間的門要開(kāi)向潔凈度級(jí)別高的房間。
以上就是
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